1、干式泵（非潤(rùn)滑）

提供*潔凈的真空環(huán)境。只需較少維護(hù)，且不會(huì)產(chǎn)生任何廢料。然而，干式泵的初始成本較高。常用的干式泵包括隔膜泵、活塞泵、渦旋泵和渦輪分子泵。

2、水性泵

可以較低的初始成本實(shí)現(xiàn)低真空，只需zui少程度的維護(hù)。這些泵均具有耐腐蝕性。然而，它們并不適用于水蒸汽敏感系統(tǒng)。處理污水是這些泵的另一主要問(wèn)題。常用的水性泵包括吸水泵。

3、油潤(rùn)滑泵

價(jià)格適中，可提供較高的泵送速度和廣泛的極限真空度。然而，這些泵需要日常維護(hù)并更換機(jī)油。這些油可能會(huì)污染真空環(huán)境。這些泵還需配備進(jìn)口過(guò)濾器和出口過(guò)濾器，以便保護(hù)泵體和周?chē)h(huán)境。常用的油潤(rùn)滑泵包括旋片式真空泵和齒輪泵。